Формирование поверхностного микрорельефа

Формирование поверхностного микрорельефа

О причине появления такого микрорельефа на поверхности монокристаллов SiC в литературе имеются разноречивые сведения. Элементы такого поверхностного микрорельефа, как и в случае полупроводниковых соединений с кристаллографической полярностью в направлении одной из осей, одни исследователи относят к местам выхода дислокаций, образующихся при механической обработке поверхности; другие считают их местами выхода краевых дислокаций, так как геометрия их отлична от геометрии мест выхода винтовых дислокаций; третьи предполагают, что они образуются в результате локального активирования или блокирования поверхности за счет примесных элементов; четвертые склонны считать, что поверхностный микрорельеф формируется в результате наличия на гранях монокристаллов эпитаксиальной пленки карбида кремния или нерастворившейся окисной пленки. Поэтому для травления нами были использованы монокристаллы a-SiC различной чистоты как естественной огранки, так и со шлифованными базисными гранями.

Травление проводили в расплаве едкого калия и смеси едкого калия и азотнокислого калия в соотношении 1 : 2 при температурах 500—800° С. В результате металлографических и электронномикроскопических исследований протравленных кристаллов установлено, что в этих условиях формирование поверхностного микрорельефа наблюдается для всех типов кристаллов. В результате металлографических и электронномикроскопических исследований протравленных кристаллов установлено, что в этих условиях формирование поверхностного микрорельефа наблюдается для всех типов кристаллов.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставить комментарий

Почта (не публикуется) Обязательные поля помечены *

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: