Технические монокристаллы карбида кремния

Технические монокристаллы карбида кремния

Все монокристаллы в партии подвергали двусторонней шлифовке с последующей полировкой до толщины 300—450 мкм. Статистический анализ показал, что технические монокристаллы карбида кремния распределяются по величине площади монокристаллов в следующих процентных соотношениях: группа 3X3 мм2 — 60—70%, группа 5×5 мм2 — 25—30%; группа 5X8 мм2 и выше— 10—15%. Измерения прозрачности технических монокристаллов на длине волны 0,6 мкм показали, что 80—90% таких монокристаллов имеют коэффициент пропускания на этой длине волны 40—65% и выше. Определение политипа монокристаллов этой партии по методике, принятой для полупроводниковых монокристаллов, которые применяются для изготовления светодиодов, показало, что 60—70% из них имеют политип 6Н. Остальные 30 — 40% являются сростками политипов (это в основном 6Н в сочетании с 15, 21 R, 33 R). Остальные 30 — 40% являются сростками политипов (это в основном 6Н в сочетании с 15, 21 R, 33 R). Анализ на наличие включений второй фазы в объеме монокристаллов, так называемых инородных включений, показал, что 25% технических монокристаллов не имеют инородных включений, а 30—35% имеют незначительное количество включений (от одного до десяти включений на 1 мм2 рабочей поверхности монокристалла). По данным этих результатов можно считать, что до 50% технических монокристаллов могут служить в качестве подложек при получении эпитаксиальных структур на основе карбида кремния.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставить комментарий

Почта (не публикуется) Обязательные поля помечены *

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: