Влияние легирующих примесей на механические свойства монокристаллов карбида кремния

Влияние легирующих примесей на механические свойства монокристаллов карбида кремния

На основании полученных результатов исследований составлены таблицы, в которых для каждого класса чистоты поверхности, имеющего определенную глубину рельефного слоя, указана глубина поврежденного поверхностного слоя. Измеряя шероховатость поверхности после механической обработки и пользуясь этой таблицей, можно оценить толщину разрушенного слоя этой поверхности. Кроме того, таблицы могут, в какой-то степени, способствовать выбору оптимального режима шлифования с точки зрения бездефектности обработанной поверхности. Например, если после грубого шлифования поверхность грани (0001) a-SiC имеет 7в класс чистоты, то толщина поврежденного слоя составляет 12 мкм. Например, если после грубого шлифования поверхность грани (0001) a-SiC имеет 7в класс чистоты, то толщина поврежденного слоя составляет 12 мкм. Слой такой толщины необходимо снять при последующем тонком шлифовании и т. д. Только лишь при достижении таким образом 10 класса чистоты можно считать, что разрушенный слой практически отсутствует.

Для грани призмы (1120) аSiC и ромбододекаэдра (110) (3SiC) достаточно достичь 9в класса чистоты, чтобы избежать трещинообразования. Влияние легирующих примесей на механические свойства монокристаллов карбида кремния.

Введение в полупроводниковые кристаллы даже незначительного количества легирующих примесей может резко изменить его физикомеханические свойства.

Восстановить старую металлическую ванну помогут новые технологии. Так, заливка ванны жидким акрилом позволит восстановить первозданный облик чугунной ванны в короткие сроки.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставить комментарий

Почта (не публикуется) Обязательные поля помечены *

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: